Правообладатель РИД: ДЮМОН Жоффруа (FR)

Изобретение относится к способам изготовления устройств для детектирования электромагнитного излучения, в частности инфракрасного или терагерцевого излучения. Способ изготовления устройства для детектирования электромагнитного излучения содержит по меньшей мере один тепловой детектор на...