Правообладатель РИД: Бессонова Анна Ивановна

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, а именно к интерферометрическим измерениям линейных перемещений объектов. Интерферометр содержит двухчастотный лазер 1 линейно поляризованного излучения и расположенные вдоль излучения дифракционный фазовый модулятор 3, оптический...