Правообладатель РИД: Замчий Александр Олегович

Изобретение относится к области получения наноразмерных композитных структур на основе кремния и может быть использовано в опто- и наноэлектронике. Способ формирования нанокластеров германия в плёнке GeO[SiO] с использованием электронно-пучкового отжига включает предварительное получение тонкой...

Изобретение относится к области получения наноразмерных композитных структур на основе кремния и может быть использовано в опто- и наноэлектронике. Способа формирования нанокластеров германия в плёнке GeO[SiO] с использованием электронно-пучкового отжига включает предварительное получение...