Правообладатель РИД: Асафьев Н.О.

Изобретение относится к акустическим волновым сенсорам, в частности к гравиметрическим сенсорам, и является основой для создания высокочувствительных датчиков параметров вещества, осаждаемого на поверхность. Техническим результатом является создание высокочувствительного сенсора массы, толщины...