Правообладатель РИД: Парфёнов Олег Евгеньевич

Изобретение относится к получению материалов на основе германена EuGe и SrGe с высокой подвижностью носителей заряда, которые могут использоваться при создании наноэлектронных устройств. Атомарный поток европия или стронция с давлением (0,1÷100)⋅10 Торр осаждают на предварительно очищенную...