Правообладатель РИД: Романов Юрий Александрович

Изобретение относится к области силовых полупроводниковых приборов, а именно к технологии производства тренч-транзисторов, и может быть использовано для изготовления силовых полевых радиационно-стойких тренч-транзисторов. Способ формирования структуры полевого силового радиационно-стойкого...