Правообладатель РИД: Муртазаева Асият Акаевна

Изобретение относится к области плазменной техники. Устройство для получения широкоапертурного низкоэнергетичного потока ионов содержит основной газоразрядный промежуток для формирования ленточного электронного пучка, состоящий из протяженного щелевого катода, сетчатого анода, диэлектрической...