Правообладатель РИД: Селезнева Марина Борисовна

Изобретение относится к пьезоэлектронике и может быть использовано при изготовлении микроэлектронных устройств. Технический результат заключается в повышении выхода годных кварцевых чувствительных элементов (ЧЭ) датчиков и качества поверхности ЧЭ путем применения лазерного фрезерования...