Правообладатель РИД: Обронов Иван Владимирович

Изобретение относится к области лазерной техники, к сканирующим импульсным лазерам, применяемым к резке хрупких подложек. Предлагаются способ и устройство формирования напряженной грани в подложке для разделения подложки, для чего формируют массив полостей в результате оптического пробоя в...