×

Правообладатель РИД: Икусов Данил Геннадьевич

Показаны записи 1-1 из 1.
25.03.2020
№220.018.0f9a

Способ профилирования состава при эпитаксиальном формировании полупроводниковой структуры на основе твердых растворов

Изобретение относится к профилированию состава твердых растворов гетероэпитаксиальных структур при их росте. Способ при формировании структуры типа АВ на основе теллуридов элементов второй группы таблицы Менделеева включает измерения эллипсометрических параметров Ψ и Δ на одной длине волны...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002717359
Дата охранного документа: 23.03.2020
+ добавить свой РИД