Правообладатель РИД: КОХ Йёрг (DE)

Изобретение относится к способу получения индийсодержащего слоя методом осаждения из газовой фазы путем разложения металлоорганических соединений. Индийсодержащий слой формируют на подложке в реакционной камере, в которую индий подают в виде индийсодержащего соединения-предшественника формулы...