Правообладатель РИД: БОНИНО Пол С. (US)

Изобретение относится к области измерительной техники и касается способа измерения толщины пленки с помощью спектрофотометра. Способ включает в себя испускание первого светового пучка на первую пленку, осажденную на поверхность подложки, и прием с использованием линейного датчика отраженного от...