Правообладатель РИД: Новоселов Алексей Сергеевич

Изобретение относится к области приборостроения и может применяться при создании резонаторов твердотельных волновых гироскопов и датчиков угловой скорости. В способе изготовления сферического резонатора формируют глухие отверстия в кремниевой пластине с планарной стороны, размещают на ней...