Правообладатель РИД: ФУНАТО, Юити (JP)

Изобретение может быть использовано в химической промышленности. Способ получения композиционного материала на основе карбида кремния включает стадии: выдерживания преформы из карбида кремния в реакционной печи; подачу сырьевого газа, содержащего метилтрихлорсилан, в реакционную печь для...