Правообладатель РИД: АКАДЗАКИ, Кодзуе (JP)

Изобретение может быть использовано в химической промышленности. Способ разложения хлорсиланового полимера, образующегося вторично на стадии способа химического осаждения из паров с использованием газа на основе хлорсилана, включает стадию приведения низшего спирта, такого как бутанол или более...

Изобретение может быть использовано в химической промышленности. Способ получения композиционного материала на основе карбида кремния включает стадии: выдерживания преформы из карбида кремния в реакционной печи; подачу сырьевого газа, содержащего метилтрихлорсилан, в реакционную печь для...