Правообладатель РИД: Туксов Илья Владимирович

Изобретение относится к получению плазмы, а именно к устройствам для генерирования плазмы с использованием внешних электромагнитных полей и может применяться для ионно-плазменной обработки поверхностей различных материалов. Техническим результатом является расширение арсенала технических...