Правообладатель РИД: ПЭН Чжоцзюнь (CN)

Согласно настоящему изобретению предложена эксимер-лазерная система. Камера задающего генератора может генерировать лазерные импульсы с суженной шириной линии и малой энергией посредством модуля сужения ширины линии в качестве затравочного света. Затравочный свет преломляется блоком создания...