Правообладатель РИД: Курганов Илья Геннадьевич

Использование: для обработки сигналов в сканирующих устройствах с остросфокусированным электронным пучком. Сущность изобретения заключается в том, что сканируют электронным пучком поверхность объекта поперек топологического элемента, находящегося на этой поверхности, с одновременным изменением...