Правообладатель РИД: СМИТ, Калеб (US)

Изобретение относится к многослойной структуре, в которой смежные слои имеют разные характеристики поглощения излучения и может быть использовано в биотехнологии, оптоэлектронике и микроэлектромеханических системах. Способ включает формирование рабочего пакета, содержащего первый слой подложки,...