Правообладатель РИД: Киприянов Ярослав Андреевич

Изобретение относится к области оптического приборостроения, а именно к лазерной микрообработке, и может быть использовано для формирования микроканалов на поверхности различных подложек из диэлектрических или металлических материалов, например из оптического материала и полупроводниковых...