Правообладатель РИД: Доровских Сергей Михайлович

Изобретение относится к электронной технике. Технический результат – осуществление технологической операции вакуумной сушки, обеспечение требуемого давления инертного газа в объеме микрокорпуса, снижение расхода инертного газа, повышение производительности. Достигается тем, что размещают...