Правообладатель РИД: ШЕРВУД Уолтер Дж. (US)

Изобретения относятся к химической и полупроводниковой промышленности. Объединяют первую жидкость, включающую кремний, углерод и кислород, со второй жидкостью, содержащей углерод. Получают поликарбосилоксановую прекурсорную композицию, имеющую молярную долю углерода от около 30% до 85%,...