Правообладатель РИД: ФОЛЬЦ Керстин (DE)

Изобретение относится к применению по меньшей мере одного бинарного соединения элемента группы 15 в качестве эдукта в методике осаждения из паровой фазы. Бинарное соединение элемента группы 15 описывается общей формулой в которой R и R независимо друг от друга выбраны из группы, включающей...