Правообладатель РИД: Федюхин Леонид Анатольевич

Изобретение относится к производству высококачественных оптических приборов, в частности к контролю качества обрабатываемых поверхностей оптических материалов как аморфных, так и монокристаллических. Предложен способ оперативного неразрушающего контроля качества приповерхностного слоя...