Правообладатель РИД: ХАНЗЕН Штефани (DE)

Настоящее изобретение относится к беспористой керамике, которую можно использовать как стабильные по размерам подложки в областях, которые подвергаются градиентам температуры, например при производстве полупроводников. Беспористый керамический элемент имеет следующий химический состав, мас.%:...