Правообладатель РИД: Щербак Андрей Владимирович

Изобретение относится к технологической оснастке. Вакуумный держатель для подложек выполнен в виде стола, на поверхности которого выполнены сквозные отверстия, соединенные с камерой низкого давления. Поверх стола с отверстиями устанавливается пластина из полимерного материала круглой или...