Правообладатель РИД: Лемзяков Алексей Георгиевич

Изобретение относится к электролюминесцентному источнику света, излучающему в инфракрасном диапазоне. Излучающее в инфракрасном диапазоне спектра электролюминесцентное устройство в интегральном исполнении с кремниевой подложкой содержит подложку кремния, жестко связанный с подложкой...

Изобретение относится к микросистемной технике и технологии, а именно к изготовлению высокоаспектных микроструктур, и может быть использовано для изготовления структурированных сцинтилляционных экранов. Способ изготовления высокоаспектных микроструктур заключается в радиационно-индуцированной...