Правообладатель РИД: Абдрахманов Рифат Хабибрахманович

Изобретение относится к устройствам для циклической дозированной подачи порошков металлоорганических соединений при осаждении покрытий. Сущность: устройство включает электродвигатель (2), соединенный с вращающимся валом (3). Соосно валу (3) установлены вращающийся диск (5) с дозирующими...