Правообладатель РИД: Погребняк Андрей Борисович

Изобретение относится к вакуумной установке пиролиза метана. Установка содержит вакуумную рабочую камеру, соединенную линией откачки с механическим вакуумным насосом. При этом в линию откачки между механическим вакуумным насосом и вакуумной рабочей камерой установлен уравнительный вакуумный...