Правообладатель РИД: Деркачёв Пётр Юрьевич

Изобретение относится к области измерений акустических волн, а более конкретно - к микроэлектронным устройствам измерения акустической скорости частиц. Измерительный преобразователь акустической скорости частиц содержит расположенные параллельно друг другу термочувствительные полоски с...