Правообладатель РИД: БИГУРИ Никола (FR)

Группа изобретений относится к микроэлектромеханическим системам (MEMS). Датчик ускорений, содержащий электроды, образующие конденсаторы, емкость которых меняется как функция расстояния между электродами, блок управления выполнен с возможностью измерения емкостей и с возможностью выполнения...