Правообладатель РИД: Овечкин Анатолий Арсеньевич

Изобретение относится к области изготовления полупроводниковых структур и может быть использовано при производстве кремниевых пластин для изготовления силовых приборов в микроэлектронике. Сущность изобретения заключается в том, что в устройство для нанесения сверхтолстых слоев...

Изобретение относится к области устройств для ректификации различных жидкостей суббойлерной очистки путем испарения их при температурах ниже точки кипения с последующей конденсацией паров и может быть использовано для очистки, например, кислот, щелочей, спиртов, масел. В дистиллятор введен...