Правообладатель РИД: Фюрст Л.Г.

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) физических характеристик поверхности объектов с одновременным оптическим наблюдением зоны сканирования. Сущность изобретения состоит в том, что в СЗМ, совмещенном с...