Правообладатель РИД: Зорина Елена Васильевна

Изобретение относится к области микросистемной техники, в частности к приборам для измерения линейного ускорения. Акселерометр содержит подложку из диэлектрического материала, анкерные блоки, неподвижно закрепленные на подложке, инерционную массу, Ω-образные упругие элементы, образующие подвес...

Изобретение относится к области микросистемной техники и может быть использовано для одновременного измерения линейного ускорений вдоль трех взаимно перпендикулярных осей. Акселерометр содержит подложку, неподвижные анкерные блоки, внешнюю прямоугольную раму, расположенную с зазором...