Правообладатель РИД: Грабов А.Б.

Изобретение относится к космической технике, а именно к орбитальным средствам для получения сверхглубокого вакуума (до 10 мм рт.ст.) и использования его для производства сверхчистых тонкопленочных материалов (сверхрешеток) методом молекулярно-лучевой эпитаксии. Устройство содержит защитный...