Правообладатель РИД: Воротынцев В.М.

Изобретение относится к получению германийсодержащих материалов и касается разработки электрохимического способа получения высокочистого гидрида германия, пригодного к использованию в качестве источника германия в технологиях микроэлектроники. Гидрид германия получают электролизом...