Правообладатель РИД: Лапшин Р.В.

Изобретение относится к электронно-измерительной технике и предназначено для использования в зондовом сканирующем устройстве. Сущность: способ заключается в использовании особенностей поверхности в качестве опорных точек при выполнении перемещений. Перемещения осуществляются от одной...