Правообладатель РИД: Семенова Ольга Ивановна

Изобретение относится к области приемников излучения и касается болометрического приемника излучения терагерцового диапазона. Приемник излучения содержит корпус, в котором размещена подложка со схемой считывания, соединенная с матрицей микроболометрических приемников, образующих пиксели,...

Изобретение предназначено для использования в мембранных нанотехнологиях для производства нанофлюидных фильтров, биосенсорных устройств, приборов медицинской диагностики. Сущность изобретения: в способе получения канальной матрицы после анодного травления пластины монокристаллического кремния...