×

Правообладатель РИД: Бабурин Александр Сергеевич

Показаны записи 1-2 из 2.
16.08.2019
№219.017.c0ac

Способ физического осаждения тонких пленок металлов из газовой фазы

Изобретение относится к способу физического осаждения из газовой фазы, полученной с помощью электронно-лучевого испарения, тонкой пленки, состоящей из кристаллитов серебра, и может быть использовано для изготовления устройств, требующих качественных тонких пленок металлов, в сферах...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002697313
Дата охранного документа: 13.08.2019
15.06.2019
№219.017.8365

Монокристаллические пленки металлов

Изобретение относится к осаждению тонкой сплошной монокристаллической металлической пленки методом физического осаждения из газовой фазы. Проводят двухстадийное осаждение пленки в виде слоев. На первой стадии на подложку осаждают затравочный слой при первой температуре, находящейся в диапазоне...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002691432
Дата охранного документа: 13.06.2019
+ добавить свой РИД