Правообладатель РИД: Мещеряков Николай Анатольевич

Датчик содержит двумерную дифракционную решетку с периодической структурой, источник когерентного излучения, фотоприемное устройство и четное количество отражающих зеркал. Двумерная дифракционная решетка с положительными и отрицательными порядками дифракции в двух перпендикулярных плоскостях...