Правообладатель РИД: БОС Ян (CN)

Оптическое электромеханическое устройство содержит проводящий оптический поглотитель, сформированный над подложкой, по меньшей мере одну поддерживающую структуру, которая сформирована над подложкой, проводящий деформируемый слой, сформированный поверх указанной по меньшей мере одной...