×

Правообладатель РИД: ХОГЕРВОРСТ Эрик Петрус (NL)

Показаны записи 1-1 из 1.
30.05.2019
№219.017.6b67

Катодное устройство, электронная пушка и установка литографии, содержащая такую электронную пушку

Изобретение относится к катодному устройству. Катодное устройство (20) содержит: тело (22) катода, вмещающее эмиссионную поверхность (32) для эмиссии электронов в продольном направлении (Z), причем эмиссионная поверхность ограничена периметром (35) эмиссии; фокусирующий электрод (40) по меньшей...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002689391
Дата охранного документа: 28.05.2019
+ добавить свой РИД