Правообладатель РИД: ХАЯКАВА Казухиро (JP)

Способ изготовления подложки для головки для выпуска жидкости, содержащей кремниевую подложку и впускной канал, включает: создание кремниевой подложки, содержащей изолирующий слой на первой поверхности и слой маски с отверстиями для травления на другой поверхности подложки, причем изолирующий...