Правообладатель РИД: ТРЭН Нэм Ханг (US)

Изобретение относится к барботеру для обеспечения испаренного соединения в процесс химического осаждения из паровой фазы и может быть использовано при производстве полупроводников. Сборная конструкция камеры барботера содержит одну камеру или более камер, соединенных в ряды. Все камеры...