Правообладатель РИД: ПЕТРИК Георгий (DE)

Изобретение может быть использовано в химической промышленности. Поток газа, содержащего моносилан, подают в реактор и приводят внутри реактора в контакт с поверхностью, нагретой до температуры, превышающей 800°С. На поверхности часть моносилана, присутствующего в потоке газа, разлагается с...