Правообладатель РИД: Телегин Александр Прокофьевич (UA)

Изобретение относится к узлу катода магнетронного распылителя и может быть использовано в машиностроении при изготовлении деталей с покрытием. Мишень имеет наружную сторону и внутреннюю сторону и выполнена, по меньшей мере, частично, из распыляемого материала. С внутренней стороны от мишени...