Правообладатель РИД: Бажинов А.Н.

Изобретение относится к технике измерений. Термочувствительный слой элемента выполнен из нитрида титана толщиной 0,003-0,015 мкм. Внутри мембраны над термочувствительным слоем и отделенным от него диэлектрическим слоем мембраны выполнен слой, поглощающий инфракрасное излучение. На лицевой...