Правообладатель РИД: Ползунов Иван Владимирович

Использование: для контроля и (или) измерения давления жидкостей и газов. Сущность изобретения заключается в том, что интегральный преобразователь давления содержит кремниевый кристалл n-типа проводимости с плоской рабочей поверхностью и тонкой квадратной мембраной в центре кристалла с обратной...