Правообладатель РИД: МАЙЛЗ Марк В. (US)

Устройства МЭМС изготавливают следующим образом. Берут подложку. Наносят на нее электродный слой. Наносят поверх электродного слоя временный слой. Формируют во временном слое рельеф с образованием отверстий. Наносят поверх временного слоя подвижный слой. Формируют поддерживающие структуры,...

Изобретение относится к оптическим устройствам, в частности, к микрооптическим электромеханическим устройствам и к способу их изготовления. Способ включает определение той области подложки, которая должна быть светопоглощающей; и изготовление светопоглощающей маски на этой определенной области...