Правообладатель РИД: ОТА Ацуси (JP)

Изобретение относится к способу и аппарату магнетронного распыления и позволяет значительно уменьшить аномальный разряд на поверхности мишени и неразмытые области, вызывающие отложение материала мишени. Несколько мишеней (8А, 8В, 8С, 8D) располагаются в вакууме так, чтобы быть электрически не...

Способ изготовления солнечного элемента включает в себя: формирование на кремниевой подложке, проводимость которой имеет p-тип или n-тип, кремниевого слоя, включающего в себя легирующую примесь, тип проводимости которой отличается от типа проводимости данной кремниевой подложки, и диффузию...